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  • 光刻机硅片台双台交换系统
光刻机硅片台双台交换系统
摘要:光刻机硅片台双台交换系统,该系统含有基台,运行于预处理工位硅片台,运行于曝光工位的硅片台。在基台下方装有旋转电机,在两硅片台完成预处理和曝光运动后,旋转硅片台,以完成硅片台工位的交换,交换时基台固定不动。本发明避免了大惯量的基台旋转,电机功率要求低,同时省去要求极高的导轨对接装置和辅助装置,大大简化了系统结构,同时操作简单方便,易控制。
交易方式:转让
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  • 官方信息
  • 购买须知
  • 光刻机硅片台双台交换系统申请日:2011-04-01
  • 申请号:2011100827294分类号:H02K41/02;G03F7/20;H02K41/02;G03F7/20
  • 主分类号:G03F7/20申请地址:北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
  • 专利类型:发明公开/授权时间:2013-01-16
  • 申请人: 清华大学 法律状态:专利权的转移
  • 发明(设计)人: 朱煜 陈亚英 张鸣 徐登峰 汪劲松 代理机构:北京鸿元知识产权代理有限公司
主权项:
  • 1.一种光刻机硅片台双台交换系统,该交换系统包括运行于预处理工位(2)的第一硅片台(16.1)和运行于曝光工位(3)的第二硅片台(16.2),两个硅片台设置在一基台(30)上,其特征在于:在所述的基台(30)下层设置有一个旋转电机(41),运行于曝光工位(3)的第二硅片台(16.2)和运行于预处理工位(2)的第一硅片台(16.1)在分别完成曝光和预处理工作后,旋转电机(41)驱动基台(30)上的两硅片台同步逆时针旋转180°,从而实现两硅片台的工位交换,在交换过程中,基台(30)固定不动;旋转电机(41)的输出轴(42)穿过基台(30),输出轴(42)末端连接交换桥,交换桥包括交换桥主体(40),交换桥主体(40)两侧分别设置锁紧装置,两锁紧装置分别对应两硅片支撑平台的微动台的可移动部分(14)。
  • 2.按照权利要求1所述的一种光刻机硅片台双台交换系统,其特征在于:所述基台(30)两侧长边边缘X方向分别设置有两条直线电机定子磁钢,由X方向运动的第一单自由度驱动单元(4)和第二单自由度驱动单元(5)共用第一直线电机定子磁钢(9.1);由X方向运动的第三单自由度驱动单元(6)和第四单自由度驱动单元(7)共用第二直线电机定子磁钢(9.2);Y方向第一导轨(15.1)分别与X方向运动的第一单自由度驱动单元(4)和第三单自由度驱动单元(6)联结,共同驱动第一硅片台(16.1)在X-Y平面运动;Y方向第二导轨(15.2)分别与X方向运动的第二单自由度驱动单元(5)和第四单自由度驱动单元(7)联结,共同驱动第二硅片台(16.2)在X-Y平面运动;在基台(30)周围分别布置有测量X方向位移的双频激光干涉仪,测量Y方向位移的双频激光干涉仪。
  • 3.按照权利要求1或2所述的一种光刻机硅片台双台交换系统,其特征在于:两锁紧装置相对于交换桥主体(40)伸出和缩回。
法律及基本信息

商家信息
持有人:清华大学
联系人:知夫子
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