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  • 机械与化学交互作用测量装置
机械与化学交互作用测量装置
摘要:本发明涉及化学机械抛光技术领域,公开了一种机械与化学交互作用测量装置,包括机架、摩擦力测量部分、杠杆加载部分、往复直线运动的氮化硅小球和三电极部分。本发明的装置可以模拟腐蚀条件下的磨粒磨损性能,实现了同时在线测量电化学参数和机械参数;可以测量化学机械抛光过程中单纯的化学腐蚀量、机械磨损量以及交互作用去除量,从而对化学机械抛光过程中的材料去除机理进行研究。
交易方式:转让
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  • 官方信息
  • 购买须知
  • 机械与化学交互作用测量装置申请日:2011-03-31
  • 申请号:2011100806758分类号:G01N3/56;G01N17/02;G01N17/02;G01N3/56
  • 主分类号:G01N3/56申请地址:北京市海淀区清华园北京100084-82信箱
  • 专利类型:发明公开/授权时间:2013-01-30
  • 申请人: 清华大学 法律状态:授权
  • 发明(设计)人: 路新春 李静 赵德文 王同庆 何永勇 雒建斌 代理机构:北京路浩知识产权代理有限公司
主权项:
  • 1.一种机械与化学交互作用测量装置,其特征在于,包括机架(6)、摩擦力测量部分、杠杆加载部分、往复直线运动的氮化硅小球(20)和三电极部分,其中,摩擦力测量部分包括设置于机架(6)上的气浮导轨外壳(8)和设置于所述气浮导轨外壳(8)内的气浮导轨(9),以及与所述气浮导轨外壳(8)和所述气浮导轨(9)连接的摩擦力传感器(24),所述杠杆加载部分包括设置于所述气浮导轨外壳(8)上的平行调节座(10)、设置于所述平行调节座(10)顶部的销轴(11)、设置于所述销轴(11)上的加载杠杆(15),所述加载杠杆(15)的一端设置有配重杆(13),另一端为向下垂直延伸的平面,所述三电极部分包括,设置于机架(6)上的电解池(4),作为工作电极(18)的样品、辅助电极(2)、参比电极、鲁金毛细管(19)和电化学工作站(1),所述电解池(4)内充有抛光液,所述工作电极(18)设置在所述加载杠杆(15)向下垂直延伸的平面上并且半浸在所述抛光液中,所述氮化硅小球(20)加载至工作电极(18)的表面,所述辅助电极(2)设置于工作电极(18)的正对面,所述参比电极的一端与所述鲁金毛细管(19)连接,鲁金毛细管(19)靠近所述工作电极(18),所述工作电极(18)和辅助电极(2)分别与所述电化学工作站的相应端子连接,所述参比电极与所述电化学工作站的参比接口端子连接。
  • 2.如权利要求1所述的机械与化学交互作用测量装置,其特征在于,所述机架(6)与所述气浮导轨外壳(8)之间设置有手动平移台(7)。
  • 3.如权利要求2所述的机械与化学交互作用测量装置,其特征在于,所述销轴(11)的两端通过调节螺钉(21,26)与所述平行调节座(10)连接。
  • 4.如权利要求3所述的机械与化学交互作用测量装置,其特征在于,所述加载杠杆(15)的一端上设置有砝码(14),所述配重杆(13)上设置有配重块(12)。
  • 5.如权利要求4所述的机械与化学交互作用测量装置,其特征在于,所述销轴(11)上固定有指针(17),所述加载杠杆(15)上固定有表盘(16),使得当所述加载杠杆(15)平衡时所述指针(17)指向所述表盘(16)的中心。
  • 6.如权利要求5所述的机械与化学交互作用测量装置,其特征在于,所述气浮导轨(9)的两端通过转接板(22,25)与所述平行调节座(10)连接。
  • 7.如权利要求6所述的机械与化学交互作用测量装置,其特征在于,所述机架(6)和所述电解池(4)之间设置有升降台(5)。
  • 8.如权利要求7所述的机械与化学交互作用测量装置,其特征在于,所述工作电极(18)为镀铜硅片。
  • 9.如权利要求8所述的机械与化学交互作用测量装置,其特征在于,所述参比电极为饱和甘汞电极。
法律及基本信息

商家信息
持有人:清华大学
联系人:知夫子
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